4-point resistivity measurements
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작성일 23-04-26 02:47
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저항측정법 4 probe 박막 증착방법 / ()
4-point resistivity measurements
먼저 4-probe 측정(measurement)법으로 구한 data(자료)를 보면 동일한 재료일 경우 그 값이 대략 0.3으로 일정한 것을 볼 수 있다.
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저항측정법 4 probe 박막 증착방법
저항측정법 4 probe 박막 증착방법 / ()
다른 재료에서의 경우 그 결과값은 약 0.3과 0.5로 서로 다른 값을 갖는다는 것을 알 수 있다. 비저항값은 물질상수이므로 모든 재료에 따라 다르다. 따라서 유효숫자가 1 째 자리라고 하면 그 값은 0.3이 된다된다.)
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설명
그러나 유효자리를 두 자리이상으로 보면 결과값은 오차가 있다고 볼 수 있다. (Data에서 두께차원의 값들의 유효숫자는 1~4 째 자리 사이이다. 이것은 같은 재료일 경우 같은 값을 갖는다는 것을 의미한다. 이것은 같은 재료라 할지라도 얇은 박막을 만들 때의 증착방법상의 문제 또는 전체적으로 두께가 uniform하지 못했다거나 하는 이유 등에 의해 다르게 측정(measurement)될 소지가 있다.
다.
